大型クリーンルーム Large Cleanroom 大型クリーンルーム 半導体やFPD・電子部品等の生産設備をクリーンな環境下で組立を行います。 徹底管理された大型クリーンルームは３室あり、広いスペースにて大型装置の量産も可能です。 大型吊り上げ設備（2.8tの天井クレーン）を有したクリーン度の高い装置製作環境、専用クリーンブースにてクラス1000/0.5μ～クラス10,000にも対応可能です。 組立A室 クラス10,000/0.5μｍ ISO14644-1(2015)/Ciass7 2,000㎡（56m × 36m） 2.8tクレーン × 2基 組立B室 クラス10,000/0.5μｍ ISO14644-1(2015)/Ciass7 2,000㎡（80m × 24m） 組立C室 クラス10,000 1,000㎡（34m × 28m） 2.8tクレーン × 1基 クリーンブース クリーンブースも完備。クラス1000/0.5μも対応可能 クリーンブース内での超高精密な組立エリアでの装置組立も行っています。 （評価機などでのデーター解析対応も行っています）
