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ウエハ供給テーピング装置
Taping Machine
高精度・高速搬送技術
ウエハ供給テーピング装置 NEXUS
タクトタイム
100msec(36,000UPH)
製品に対する低衝撃化
ダメージ軽減。高速ピックアップ方式
搬送コレット高さ自動ティーチング
加工点:最大11Pos
検査(外観・特性)・3軸補正・サブテーブル・テーピング他
詳細スペック(0603/1005 T0.05mm実績有り
スループット
36,000UPH (100msec)
装置サイズ
W1,300 × D1,100 × H2,150(mm)
対応ウエハサイズ
6・8inch(切替可能)
対応ワークサイズ
□0.25mm〜(厚み 0.05mm以上)
ピックアップ荷重
0.5N以下(ニードル/コレット間の同期制御不要 特許取得)
テーピング収納時 位置精度
XY:±40μm θ:±5度
必要用力
三相 200V、ドライエア
オプション機能
・6面外観検査
・特性検査
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