ウエハ供給テーピング装置

Taping Machine

高精度・高速搬送技術
ウエハ供給テーピング装置　ＮＥＸＵＳ

タクトタイム
100msec（36,000UPH）

製品に対する低衝撃化
ダメージ軽減。高速ピックアップ方式

搬送コレット高さ自動ティーチング

加工点：最大11Pos 　
検査（外観・特性）・3軸補正・サブテーブル・テーピング他

テーピングマシン_NEXUS

詳細スペック（0603/1005 T0.05mm実績有り
スループット
36,000UPH　（100msec）
装置サイズ
W1,300 × D1,100 × H2,150（mm）
対応ウエハサイズ
6・8inch（切替可能）
対応ワークサイズ□0.25mm〜（厚み 0.05mm以上）
ピックアップ荷重
0.5N以下（ニードル/コレット間の同期制御不要　特許取得）
テーピング収納時 位置精度
XY：±40μm　　θ：±5度
必要用力
三相 200V、ドライエア
オプション機能
・6面外観検査
・特性検査
テーピングマシン_NEXUS



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